1月10日，國家科學(xué)技術(shù)獎勵大會在北京舉行，華潤微電子有限公司旗下無錫華潤上華科技有限公司（“華潤上華”）參與的“高性能MEMS器件設(shè)計(jì)與制造關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目獲國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎二等獎。

該項(xiàng)目由東南大學(xué)、江蘇英特神斯科技有限公司、無錫華潤上華科技有限公司三家單位合作完成。項(xiàng)目成果針對中國微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵技術(shù)問題，系統(tǒng)研究開發(fā)了MEMS設(shè)計(jì)技術(shù)與設(shè)計(jì)工具、制造工藝和在線檢測以及高性能壓力傳感器技術(shù)，推動了中國MEMS技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

該成果形成了高精度硅各向異性腐蝕模擬、厚膠光刻工藝模擬、工藝流程模擬等11個軟件模塊，實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化，國內(nèi)用戶40余個，遠(yuǎn)銷美國、日本等。關(guān)鍵技術(shù)已應(yīng)用于華潤上華規(guī)模化生產(chǎn)線，形成批量生產(chǎn)能力并為國內(nèi)外用戶代工超過10萬片，支撐了壓力傳感器系列、麥克風(fēng)系列等MEMS器件生產(chǎn)，產(chǎn)品已在智能電子、工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

在該項(xiàng)目中，華潤上華具體開發(fā)了MEMS表面加工、體加工、鍵合加工等成套制造工藝技術(shù)及檢測技術(shù)，優(yōu)化了制造工藝及流程，實(shí)施了MEMS生產(chǎn)制造工藝、在線檢測技術(shù)以及代工服務(wù)。硅基MEMS制造工藝模擬及工藝優(yōu)化技術(shù)大大減少了工藝條件和參數(shù)的反復(fù)試驗(yàn)，降低了工藝開發(fā)成本并優(yōu)化了工藝條件及其流程，縮短了制造工藝開發(fā)周期。

“MEMS有極強(qiáng)的應(yīng)用滲透力，但是中國的MEMS產(chǎn)業(yè)化發(fā)展較慢，設(shè)計(jì)與制造核心技術(shù)被國外壟斷?！比A潤上華副總經(jīng)理蘇巍表示，“我們樂見公司在MEMS領(lǐng)域耕耘多年的成果，也非常樂于繼續(xù)攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴為實(shí)現(xiàn)MEMS的國產(chǎn)化而努力。目前，華潤上華MEMS工藝技術(shù)正依計(jì)劃由成熟的6英寸向8英寸轉(zhuǎn)移，期待能為更多IC設(shè)計(jì)公司提供MEMS產(chǎn)品服務(wù)?！?/p>

關(guān)于華潤微電子有限公司（China Resources Microelectronics Limited (“CR Micro”)

華潤微電子是中國領(lǐng)先的擁有芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測試等全產(chǎn)業(yè)鏈以IDM模式為主運(yùn)營的半導(dǎo)體企業(yè)，自2004年起，華潤微電子連續(xù)被工信部評為中國電子信息百強(qiáng)企業(yè)。公司主營業(yè)務(wù)分為產(chǎn)品與方案、制造與服務(wù)兩大業(yè)務(wù)板塊，目前已形成無錫、上海、重慶和深圳協(xié)同發(fā)展的多區(qū)域業(yè)務(wù)布局，在主要的業(yè)務(wù)領(lǐng)域均掌握了一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)、技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先的核心技術(shù)。公司聚焦于功率半導(dǎo)體、智能傳感器領(lǐng)域，為客戶提供系列化的半導(dǎo)體產(chǎn)品與服務(wù)，矢志成為世界領(lǐng)先的功率半導(dǎo)體和智能傳感器產(chǎn)品與方案供應(yīng)商。欲知更多詳情請瀏覽：www.yh3ofh.cn